廠家詳解各種螺桿真空泵知識
（臺冠螺桿真空泵）
螺桿真空泵是利用一對螺桿，經(jīng)精細動平衡校正，由軸承支撐，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，壽命長，免維修等優(yōu)點。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。在微電子、半導體、制藥、石油化工、航空航天、工具、造紙、包裝、食品、醫(yī)療器械、以及信息工程、生物工程、微電子等100多個領(lǐng)域?qū)η鍧嵳婵找筝^高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
（臺冠螺桿真空泵）
螺桿真空泵由泵蓋、泵體、圓盤，葉輪、機械密封、電動機等零部件組成。進氣管排氣管通過安裝在泵蓋上的園盤上的吸氣孔和排氣孔與泵腔相連，軸偏心地安裝在泵體中，葉輪用平鍵固定在軸上，螺桿真空泵兩端面的部間隙由泵體和園盤之間的墊來調(diào)整，葉輪與泵蓋上的園盤之間的間隙由園盤和泵體之間的墊來調(diào)整，葉輪兩端面與泵蓋上園盤之間間隙決定氣體在泵腔內(nèi)由進氣口至排氣口流動中損失的大小及其極限壓力。 螺桿真空泵的密封采用機械密封，機械密封安裝在葉輪和泵體間。由機械密封定出葉輪與泵體之間的間隙。在螺桿真空泵蓋上安裝有園盤，園盤上設(shè)有吸、排氣孔和柔性排氣閥片，柔性閥片的作用是當葉輪葉片間的氣體壓力達到排氣壓力時，在排氣口以前就將氣體排出，減少了因氣體壓力過大而消耗的功率、從而降低率消耗。
（臺冠螺桿真空泵）
螺桿真空泵有以下種類
1.內(nèi)部壓縮型螺桿式：
除了使用一對非等距螺桿以外,內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計和外部壓縮型螺桿式設(shè)計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當?shù)乃?。但在很多工藝?這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣,極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學變化而產(chǎn)生固化或液化。
2.三葉圓裂片式：
三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計的原理完全相同,它只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是象雙圓裂片式設(shè)計分為兩份。三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力下降。同雙圓裂片式設(shè)計一樣,三葉圓裂片式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。
（臺冠螺桿真空泵測試視頻圖集）
3.雙圓裂片式：
雙圓裂片式設(shè)計和目前最流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實上,一些最早期的干泵設(shè)計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設(shè)計使得氣體通路相當復雜,并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,干式螺桿真空泵這種設(shè)計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
4.外部壓縮型螺桿式：
在外部壓縮型螺桿式設(shè)計中,使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小,同時使得氣體通路最短也最簡單。這樣,氣體在泵體內(nèi)停留的時間也最短。雖然這種設(shè)計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。
5.組合式(羅茨+爪)：
組合式(羅茨+爪)設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計完全相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設(shè)計,這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份,就象三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。
螺桿真空系統(tǒng)與其他真空系統(tǒng)的對比
|
|
蒸汽噴射系統(tǒng) |
液環(huán)真空泵系統(tǒng) |
干式螺桿真空泵系統(tǒng) |
|
1 |
當工藝條件不穩(wěn)定時，可能會導致下游的排出物被抽回來，污染上游的工藝系統(tǒng) |
一旦真空泵出現(xiàn)問題，排出物或工作液會被倒吸到上游污染工藝系統(tǒng) |
由于它是完全干燥的，對上游工藝沒有任何污染 |
|
2 |
動力蒸汽將同工藝蒸汽混合，需要處理后才能排放 |
工作介質(zhì)同工作液混合或冷凝到工作液中，需要處理后才能排放 |
不產(chǎn)生任何排出物，對環(huán)境沒有任何污染 |
|
3 |
需要動力蒸汽，耗量大、運行成本高 |
它需要工作液(密封液)和相關(guān)的冷卻、分離裝置 |
公用工程需要量少，對泵的供應(yīng)只有少量的電、冷卻水 |
|
4 |
噴射器容易被腐蝕，噴嘴容易磨損 |
如果工藝介質(zhì)有腐蝕性，液環(huán)泵及其工作液循環(huán)系統(tǒng)必須用耐腐蝕的材料來制造 |
在干式螺桿真空泵中不會發(fā)生任何腐蝕，因此可以用普通材料來制造 |
|
5 |
由于介質(zhì)在噴射器擴壓管上的沉淀容易被堵塞 |
需要額外的工藝和設(shè)備來從排出中分離或回收有用的溶劑和其他成分 |
干式螺桿真空泵中工藝介質(zhì)其接觸或混合，因此溶劑或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收 |
|
6 |
噴射器的操作彈性小 |
如果工藝介質(zhì)沒有腐蝕性，則液環(huán)泵的初投資相對較低 |
干式螺桿真空泵可以被容易地從一個工藝裝置移植到另一個工藝裝置上 |
|
7 |
冷卻水溫度將限制真空泵 |
工作液的蒸汽壓、工藝冷凝液的蒸汽壓、冷卻水溫度等的限制，液環(huán)真空泵的抽真空能力受到限制 |
同液環(huán)泵比可以產(chǎn)生較高的真空 |
|
8 |
效率最低，只有20%的能量是用于抽真空 |
液環(huán)泵較其他系統(tǒng)需要更大的操作和設(shè)備維護工作 |
干式螺桿真空泵效率非常高，同其他類型的設(shè)備相比，它只消耗少量的電能 |
好了,詳解螺桿真空泵知識就介紹到這里，如果想了解真空泵行業(yè)的相關(guān)技術(shù)知識,請關(guān)注我們下期精彩分享.
