干式真空泵有那些特點
干式真空泵是將來行業(yè)開展的趨向，固然如今用的還不多，除了價錢高緣由外，還有用戶對干式真空泵的理解不到位，看不到帶給企業(yè)的將來經(jīng)濟效益，小編在這里著重講下干式真空泵怎樣停止優(yōu)化選擇?關(guān)于這些不同類型的干式真空泵，我們都盼望可以將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，由于真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要要素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需求進步它的轉(zhuǎn)速。而想要改動真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種辦法，一是改動電源的頻率，即采用變頻器;二是改動齒輪箱的傳動比。其中，采用變頻器的益處是能夠提供一個閉環(huán)控制，但在大負載下容易惹起扭距的損失。而改動齒輪箱的傳動比是一種十分經(jīng)濟的辦法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。
目前真空行業(yè)運用的大多數(shù)機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充任泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、光滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的開展以及真空應(yīng)用范疇的擴展，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)呈現(xiàn)了兩個急需處理問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多狀況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護本錢。其次，由于某些工藝過程中的反響物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重蛻變，使泵不能正常工作。關(guān)于普通的無油真空系統(tǒng)來說，固然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來避免返流，但不能徹底處理問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而運用恰當(dāng)型式的干式真空泵，則能夠到達理想的運用效果干式真空泵的應(yīng)用是普遍的，主要有以下幾個方面：
1)低壓化學(xué)氣相堆積中的多晶硅制備工藝中
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些消費工藝中常常用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵能夠滿足請求
4)用做普通無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以避免油污染
5)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食 品工業(yè)中的蒸餾、枯燥、脫泡、包裝等，要避免有機溶劑形成污染，合適用干式真空泵。
